フラッシュ2022年3月23日

• ダイヤモンド接合の窒化ガリウムトランジスターを開発＝大阪市大

  by MITテクノロジーレビュー編集部 [MIT Technology Review Japan]

  大阪市立大学などの研究グループは、ダイヤモンドに接合した窒化ガリウム層を熱加工し、トランジスターを作成することに成功した。窒化ガリウムトランジスターは、携帯電話の基地局などで利用されているが、動作時の発熱が問題となっており、使用時には大型の放熱部材が欠かせない。ダイヤモンドは熱伝導率が高く、効率よく熱を逃がせるため、シリコン上に作成したトランジスターに比べて放熱性が高く、窒化ガリウム層の劣化も防げるという。

  研究グループは2021年9月に窒化ガリウムとダイヤモンドを直接接合させ、1000℃の熱処理に耐えることを実証済み。今回はダイヤモンドに直接接合した窒化ガリウムを800℃で熱処理することで、放熱性能に優れたトランジスターを作成することに成功した。トランジスターを作成してからダイヤモンドと接合する研究は数多くあったが、トランジスターの大面積化は困難だった。窒化ガリウムとダイヤモンドを接合してからトランジスターを作成することに成功したことで、窒化ガリウムトランジスターをレーダーやインバーターなどの大電力用途にも使用できる見込みが高まった。

  研究成果は3月8日、「アプライド・フィジクス・エクスプレス（Applied Physics Express）」誌にオンライン掲載された。

  （笹田）

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